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传统的AAO模板由高纯铝片制备,操作简单,自由度高,然而这种AAO模板很难进入半导体工艺并形成复杂结构微器件,为了解决这一问,基片上AAO模板应运而生。一般是通过先在基片上镀一层铝,然后进行原位制备AAO模板。与超薄AAO模板转移到基片上相比,这种原位生长的AAO模板优点在于AAO与基片结合非常紧密,模板无褶皱和宏观起伏,与基底无脱离。近期,我们将要推出了一款基片上AAO模板。